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电子枪
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预对中钨灯丝
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放大倍率
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x10~x300,000
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加速电压
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200V~30kV
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载物台
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5-axis Manual
X:40mm(-20mm~20mm)
Y:40mm(-20mm~20mm)
Z:5~45mm、T:-20°~90°、R:360°
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5-axis Motorized(Optional)
X:90mm(-45mm~45mm)
Y:60mm(-30mm~30mm)
Z:5~60mm、T:-20~90°、R:360°
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最大样品尺寸
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水平：96mm,垂直：50mm
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水平：96mm,垂直：50mm
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工作距离
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0~45mm
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0~60mm
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探测器
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SE(ET型)
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SE(ET型)
BSE(4通道，半导体)
(Optional)
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SE(ET型)
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SE(ET型)
BSE(4通道，半导体)
(Optional)
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分辨率
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3.0nm(SE image)
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3.0nm(SE Image)
5.0nm(BSE Image)
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3.0nm(SE image)
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3.0nm(SE Image)
5.0nm(BSE Image)
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可变压力
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X
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0
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X
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0
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真空模式
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高真空状态(<9x10*3Pa)
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高真空状态(<9x10^3Pa)
低真空状态
(10~230Pa)
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高真空状态(<9x10*3Pa)
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高真空状态(<9x10^3Pa)
低真空状态(10~230Pa)
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真空系统
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全自动疏散系统、涡轮分子泵(3分钟内真空就绪)、旋片式泵、电动阀系统
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目标IRIS
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20/20/50/100μ(可变光圈)
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图像偏移
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±50μm
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高级扫描模式
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动态聚焦，点和线扫描，倾斜补偿
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自动功能
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水平：150mm,垂直：60mm自动亮度/对比度，
自动对焦，自动枪对准，自动饱和，自动灯丝/偏置
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图像格式
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JPG,TIFF,BMP,PNG
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显示模式
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对焦模式：320x240像素，可调整大小
预览模式：800x600
慢速模式：适用于预览和聚焦模式
照片模式：高达3200x2400
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尺寸（mm)
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安装尺寸：1800(宽)x600(深) 尺寸(mm)
主系统：600(宽)x623(深)x1350(高),130公斤
旋转泵：454(宽)x134(深)x121(高),22Kg
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提供附件
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预对中钨灯丝1盒(10个),
试样支架1盒(10个),
镊子，碳带，六角螺丝刀0.89mm(各1个),
六角扳手2.5mm(各2个),
六角扳手2.5毫米(2个)
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操作装置
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基于Windows10的21.5英寸一体式工作站
-100%由键盘和鼠标控制
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可选装备
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电子反向散射衍射、能谱学、波长色散光谱学、
CL(Cathodoluminescent)成像、ChamberCamera、LaByCeBsUpgrade、 三维成像、拉曼光谱、电子束光刻技术
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电源
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Single Phase:100~240VAC,50/60Hz,1KVA
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